ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
Оптическая схема:
Порты:
Диапазон длин волн:
Относительное отверстие:
Фокусное расстояние:
Размер дифракционных решеток:
Диапазон сканирования, ограниченный
углом поворота дифракционной решетки:
Основные зеркала:
Рассеянный свет:
Фокальная плоскость: |
Черни-Тернер (модели MS7501i и MS7504i -
с компенсацией астигматизма)
1 входной, 2 выходных
180 нм - 60 мкм
1/8,9
750 мм
80х70х10 мм
0-1300 нм (для решетки 1200 штр/мм)
сферические
5 x 10-6 (на расстоянии 20 нм
от линии лазера 632,8 нм)
28 x 10 мм
|
КОМПЕНСАЦИЯ АСТИГМАТИЗМА
Горизонтальное увеличение:
Вертикальное увеличение:
Астигматизм: |
1,0
1,08
< 50,0 мкм
|
МЕХАНИЗМ РАЗВЕРТКИ ПО СПЕКТРУ
Двигатель:
Механизм:
Единичный шаг:
Точность установки:
Макс. скорость: |
шаговый, с дроблением шага
синусный
0,026 угловых сек
± 1 шаг
10000 шагов/с
|
ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
(для решетки 1200 штр/мм)
Обратная линейная дисперсия:
Воспроизводимость:
Спектральное разрешение:
Точность установки длины волны:
Средний шаг сканирования: |
0,9 нм/мм
± 0,005 нм
0,015 нм
± 0,05 нм
0,0015 нм
|
СПЕКТРАЛЬНЫЕ ЩЕЛИ
Комбинированные - с ручным управлением
и с помощью шагового двигателя:
Единичный шаг:
Параллельность ножей:
Точность (при ширине щели 1 мм):
Цена деления микрометрического винта: |
Ширина 0 - 2,0 мм (плавная регулировка)
Высота 0 - 10 мм (регулируется диафрагмой)
0,5 мкм
± 1 мкм
± 10 мкм
2 мкм
|
УПРАВЛЕНИЕ
Общее управление от встроенного контроллера
Внешнее управление с помощью
Пульта ручного управления
Внешнее управление от персонального компьютера
Интерфейс – RS-232 |
| Габаритные размеры (ДхШхВ): 938 x 361 x 343 мм, Вес: 45 кг |
