| ОПТИЧЕСКАЯ СИСТЕМА
Оптическая схема:
Порты:
Диапазон длин волн:
Относительное отверстие:
Фокусное расстояние:
Размер дифракционных решеток:
Диапазон сканирования, ограниченный
углом поворота дифракционной решетки:
Основные зеркала:
Рассеянный свет:
Фокальная плоскость:
|
Черни-Тернер (модели MS2001i и MS2004i -
с компенсацией астигматизма)
1 входной, 2 выходных
180 нм - 60 мкм
1/3,6
200 мм
40х40х6 мм
0-1270 нм (для решетки 1200 штр/мм)
сферические
7x10-5 (на расстоянии 20 нм
от линии лазера 632,8 нм)
26 x 10 мм
|
КОМПЕНСАЦИЯ АСТИГМАТИЗМА
Горизонтальное увеличение:
Вертикальное увеличение:
Астигматизм:
|
1,18
1,28
< 40,0 мкм
|
МЕХАНИЗМ РАЗВЕРТКИ ПО СПЕКТРУ
Двигатель:
Механизм:
Единичный шаг:
Точность установки:
Макс. скорость: |
шаговый, с дроблением шага
червячный
1,6 угловых сек
± 1 шаг
10000 шагов/с
|
ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
(для решетки 1200 штр/мм)
Обратная линейная дисперсия:
Воспроизводимость:
Спектральное разрешение:
Точность установки длины волны:
Средний шаг сканирования: |
4,12 нм/мм
± 0,036 нм
0,12 нм
± 0,122 нм
0,012 нм
|
СПЕКТРАЛЬНЫЕ ЩЕЛИ
Комбинированные - с ручным управлением
и с помощью шагового двигателя:
Единичный шаг:
Параллельность ножей:
Точность (при ширине щели 1 мм):
Цена деления микрометрического винта: |
Ширина 0-2,0 мм (плавная регулировка)
Высота 0-10,0 мм (регулируется диафрагмой)
0,5 мкм
± 1 мкм
± 10 мкм
2 мкм
|
УПРАВЛЕНИЕ
Общее управление от встроенного контроллера
Внешнее управление с помощью
Пульта ручного управления
Внешнее управление от персонального компьютера
Интерфейс – RS-232 |
| Габаритные размеры (ДхШхВ): 320 x 200 x 160 мм, Вес: 9 кг |
